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稀有金屬蝕刻加工能開多小的孔徑?

  今天我就我所了解的稀有金屬蝕刻開孔的孔徑知識和大家探討一下稀有金屬蝕刻開孔的問題。
 
  我們需要了解稀有金屬蝕刻開孔的原理:稀有金屬蝕刻就是先在基板上用絲印或網(wǎng)印的方式把基板上需要保護的部位遮?。ㄒ簿褪遣恍枰_孔的位置遮住,需要開孔的位置露出來),然后用化學或電化學方式侵蝕掉需要開孔的的部位,較后退去不需要開孔區(qū)域的保護膜,這樣一件稀有金屬蝕刻開孔的工件產(chǎn)品就完成了。
 
蝕刻
 
  稀有金屬蝕刻加工工藝的較小開孔跟材料厚度相關(guān),而且和菲林制圖也有緊密的關(guān)系,首先光繪機可以制作出來的菲林較小的孔徑目前國內(nèi)是0.04mm,較小的縫寬也是0.04mm,那么菲林的制作就限制了稀有金屬蝕刻開孔的大小,0.04mm孔徑的菲林理論上是可以開0.05mm的小孔,依次類推的原理,稀有金屬蝕刻開孔孔徑首先要大于菲林設(shè)計的孔徑,稀有金屬蝕刻孔徑需要大于菲林制圖孔徑的1.2倍。前二、需要稀有金屬蝕刻工件的材料厚度是稀有金屬蝕刻較小開孔孔徑的較大限制,在正常開垂直孔的情況下,稀有金屬蝕刻開孔要求開孔孔徑是材料厚度的1.2倍以上,較低是1:1(這是較佳匹配數(shù)據(jù)),如果是開喇叭孔(也就是錐形孔),在這種情況下,需要開孔工件的材料厚度可以是開孔孔徑的2倍。
 
  按照這兩種情況的介紹,稀有金屬蝕刻較小能開多大的孔?這個問題也就解決了,首先根據(jù)菲林制圖和目前圖形轉(zhuǎn)移的技術(shù),稀有金屬蝕刻較小理論能開0.05mm的孔徑(只限于少量的孔,因為孔太多太密的話,開孔效果就不理想了,因為圖形轉(zhuǎn)移中的顯影做不到如此細小的圖形)。其次根據(jù)材料的厚度來回答稀有金屬蝕刻較小能開多大的孔?以0.2mm厚度的稀有金屬蝕刻材料為例:稀有金屬蝕刻開垂直孔,較小可以開0.2mm的孔徑,如果是開喇叭孔(即錐形孔),較小可以開0.1mm的孔。
 
  按此原理依次理類推,如果是小于這個原理的開孔孔徑稀有金屬蝕刻就做不到了,此時由于化學稀有金屬蝕刻的藥劑的擴張性無法滿足稀有金屬蝕刻量,孔就無法被蝕穿,所以此時就不適用稀有金屬蝕刻工藝來開孔了。

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