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簡述濕式蝕刻的優(yōu)缺點

　　濕式蝕刻的優(yōu)缺點：
 
蝕刻
 
　　低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)越的蝕刻選擇比。但相對于干式蝕刻，除了無法定義較細(xì)的線寬外，濕式蝕刻仍有以下的缺點：
 
　　1)需花費較高成本的反應(yīng)溶液及去離子水；
 
　　2)氣泡形成及化學(xué)蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻；
 
　　3)光阻附著性問題；
 
　　4)化學(xué)藥品處理時人員所遭遇的安全問題；
 
　　5)廢氣及潛在的爆炸性。

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